Laboratório Multiusuário de Microscopia e Litografia Eletrônica

Instituição: Universidade Federal do Pará

Cidade/UF: PA/01

O LMMiLiE/UFPA é um laboratório multiusuário de microscopia e litografia eletrônica que opera de modo aberto e o acesso é por submissão de projetos pelos pesquisadores e instituições interessadas. É constituído por um MEV/EDS-termoiônicoe outro MEV-FEG equipado com um sistema de litografia eletrônica. O foco do LMMiliE é fabricação de nanodispositivos e caracterização de nanoestruturas e nanomateriais. Para o desenvolvimento tecnológico e inovação o LMMiLiE oferece prestação de serviços.

Áreas de atuação

• Nanofabricação
• Microfabricação
• Microscopia Eletrônica de Alta Resolução

Técnicas disponíveis

• Microsocopia eletrônica de varredura MEV-termoiônico com EDS
• Microsocopia Eletrônica de Varredura de Alta Resolução MEV-FEG
• Nanolitografia por feixe de Elétrons

Equipamentos

• Microscopio eletrônica de varredura MEV FEG MIRA — TESCAN MIRA 4
• Microscopio eletrônica de varredura VEGA — TESCAN VEGA 3
• Sputter Coater — Quorum Technologies SC7620

Dados extraídos do PNIPE/MCTI.