Laboratório de Micro e Nano Fabricação do Instituto Mackenzie de Pesquisas em Grafeno e Nanotecnologias (MackGraphe)
Instituição: INSTITUTO PRESBITERIANO MACKENZIE
Cidade/UF: SP/896
Instalação multidisciplinar com ênfase em nanoeletrônica, microeletrônica e nanofotônica. Conta com infraestrutura para desenvolvimento, produção e caracterização de nanomateriais onde seus equipamentos e linha de produção estão em ambiente de sala limpa (Classe 1000). Além de atuar na nano e microfabricação, também oferece suporte a projetos estratégicos em diversas áreas do setor produtivo na pesquisa e desenvolvimento tecnológico, desenvolvimento de produtos e prestação de serviços na área.
Áreas de atuação
- Grafeno
- Micro-nano fabricação 3D de dispositivos
- Compostos nanoestrurados
- Caracterização de Nanopartículas
- Análise morfológica de nanopartículas
- Materiais avançados
- Desenvolvimento de materiais avançados incluindo síntese e funcionalização de nanomateriais
- Nanofabricação
- Instrumentação Científica em Nanociências e Nanotecnologia
- Microfabricação
- Caracterização de nanomateriais
- Análise de nanomateriais
- Microeletrônica
- Filmes finos
- Materiais 2Ds
- Fabricação de Sensores ópticos e eletroquímicos
- Dispositivos eletrônicos
- Óxido de Grafeno (GO)
- Óxido de Grafeno Reduzido (rGO)
Técnicas disponíveis
- Litografia óptica
- MEV com EDS/WDS
- Microscopia de Força Atômica (AFM)
- Deposição de Filmes Finos por Spincoating
- Deposição por Camada Atômica - ALD
- Corrosão por íons reativos - RIE
- Microscopia óptica
- Evaporadora induzida por feixe de elétrons
- Microscópio para polarização
- Tratamento de superfície por plasma
- Sistema de Evaporação Térmica
Equipamentos
- Alinhadora de máscara – EVG — EVG 610
- Chapa de aquecimento — Tecnal TE-038/2-MP
- Corrosão por íons reativos — Oxford Instruments Plasma Pro NGP80
- Deposição de Camadas Atômicas — Anric technologies AT-410
- Deposição por Cobertura (Spin Coater) — Best Tools SC110-B
- Microscópio Óptico — Nikon ECLIPSE LV100ND
- Evaporadora induzida por feixe de elétrons — Mbraun MB Provap Ebeam
- Microscópio Óptico (Sala Amarela) — Nikon LV100ND POL/DS
- Micro solda por ultrassom Wire Bonder — TPT HB 10
- Microscópio Eletrônico de Varredura — JEOL JSM-7800F
- Microscópio de Força Atômica — Bruker Dimension Icon
- Máquina de corte – DISCO — DISCO DAD 3221
- Perfilômetro de contato – Dektak — Bruker DektakXT
- Sistema de Litografia a Laser — Quantum Design Micro Writer ML3
Dados extraídos do PNIPE/MCTI.