Laboratório de Microfabricação - LFFS

Instituição: Universidade Federal de Santa Catarina

Cidade/UF: SC/S/N

Laboratório destinado à microfabricação de estruturas e dispositivos voltados para aplicações em microeletrônica, MEMS, optoeletrônica, microfluídica e áreas afins.

Áreas de atuação

• Fotônica e optoeletrônica
• microeletronica
• Microssistemas, MEMS, MOEMS e Microestruturas 3D
• Microfluídica e Sistemas Lab-on-Chip

Técnicas disponíveis

• deposição de filmes por spin coating
• Deposição de filmes finos por sputtering (PVD)
• fotolitografia de estruturas
• confecção de contatos elétricos via wire bonding

Equipamentos

• Laser writer — Heidelberg upg101
• Sputtering — Intercovamex TE12
• Wire bonding — TPT HB02

Dados extraídos do PNIPE/MCTI.