Laboratório de Micro Eletro Mecânica

Instituição: Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais

Cidade/UF: SP/1758

Laboratório de pesquisa sobre dispositivos micro eletro mecânicos, desenvolve pesquisas em materiais semi-condutores aptos a serem empregados e acelerômetros e ociloscópios de uso aeroespacial.

Áreas de atuação

• Análise de materiais
• Sensores Capacitivos e Resistivos
• Advanced ceramics
• Dispositivos semicondutores
• Desenvolvimento de dispositivos micro eletro mecânicos
• Desenvolvimento de sensores inerciais
• Desenvolvimento de micro fuel cell

Técnicas disponíveis

• corrosão úmida e corrosão por plasma de diversos materiais
• fotolitografia de estruturas
• Deposição de filmes finos por spin-coating
• Deposição camadas metalicas pors sputtering
• confecção de contatos elétricos via wire bonding
• Análise de superfícies por microscopia óptica
• Medidas de resistividade elétrica
• Sistema de oxidação de silicio

Equipamentos

• Foto alinhadora de máscara de 2” — Ectroglas EC
• Sistema PlasmaLab — Oxford 100
• Sistema de corrosão de materiais semicondutores — MARCH CS-1701
• Sistema de evaporação e deposição de metais — Edwards 360
• Sistema de oxidação de Silício — ETIL 1200
• Spin-Coating — 040739 SC

Dados extraídos do PNIPE/MCTI.