Centro de Componentes Semiocndutores e Nanotecnologias

Instituição: Universidade Estadual de Campinas

Cidade/UF: SP/90

O Centro de Componentes Semicondutores e Nanotecnologias – CCSNano foi criado em 1981, originado do Laboratório de Eletrônica e Dispositivos – LED. . O Centro têm como por objetivos gerais a realização de pesquisa básica e aplicada, a prestação de serviços e o suporte ao ensino, visando o aprimoramento contínuo de recursos humanos e processos em Microeletrônica.

Áreas de atuação

Energias renováveis
Micro e nanoeletrônica
Fotônica e optoeletrônica
MEMS
Microfluídica
Filmes finos e ultrafinos
Pontos quãnticos
Sensores quimicos, biomédicos, mecânicos
Materiais nanografíticos
Nanotubos, nanofitas
Materiais compósitos
Grafeno

Técnicas disponíveis

Microscopia Eletrônica de Varredura de Alta e Extrema Resolução (FEG-SEM e XHR-SEM)
Microscopia Eletrônica de Varredura com Feixe de íons Focado (FIB-SEM)
Microscopia de Força atômica - AFM
Sputtering deposition
Espectrometria Raman confocal
Implantação de íons
Litografia óptica
Litografia por feixe de elétrons
Corrosão por plasma anisotrópica
Corrosão úmida
Deposição de filmes por processo CVD térmico
Deposição de filmes finos por PECVD
Microscopia eletrônica de varredura
Espectroscopia XPS (fotoeletrons por raios X)
Polimento mecânico quimico
Critical point dryer
Simulador de celula solar
Medidor
Medidor de parâmetros elétricos
Fornos térmicos

Equipamentos

Espectrometro Raman-AFM — NTMDT NTEGRA SPECTRA
Espectrometro XPS — XPS SPECS XPS-UPS-Phoibos
Feixe de ions focalizado — FEI Co. Nova 200 Nanolab
Filmetrics — Filmetrics F54
Fotoalinhadora de dupla face — Karl Zuss MJB 4
Hitachi S-3400N — Hitachi S-3400 N
ICP-RIE Oxford Plasmalab 100 — Oxford Plasmalab 100
Litografia por ponta de prova térmica — SwissLitho-Heidelberg NanoFrazor
Perfilômetro óptico 3D — Nanovea PS50
Sistema de litografia por feixe de eletrons — eLine eLine Plus
Sputtering Ulvac MCH-9000 — ULVAC MCH-9000

Dados extraídos do PNIPE/MCTI.