Laboratório de Microfabricação

Instituição: SERVIÇO NACIONAL DE APRENDIZAGEM INDUSTRIAL AMAZONAS

Cidade/UF: AM/2394

O Laboratório de Microfabricação é um espaço dedicado à realização de processos de microfabricação altamente precisos. Equipado com tecnologia de última geração, abrange técnicas avançadas de litografia, deposição e corrosão para criar estruturas microscópicas em materiais semicondutores. Este laboratório é fundamental para a produção eficiente de dispositivos semicondutores e outros componentes eletrônicos de alta qualidade.

Áreas de atuação

• Eletrônica e Microeletrônica
• Dispositivos semicondutores
• Microfabricação de sensores e biosensores

Técnicas disponíveis

• Análise por raio-x
• Deposição de filmes finos por spin-coating
• perfilômetro
• Deposição camadas metalicas pors sputtering
• crescimento de filmes finos por sputtering

Equipamentos

• Alinhadora de Máscara — Optical Associates Incorporate (OAI) 806EBAIR
• Capela Química dedicada — Designslab ECO-DC
• Chapa aquecedora — Wenesco H0909AA
• Corrosão profunda assistida por íons — OXFORD Instruments PlasmaPro 100 Cobra 300
• Deposição química a vapor assistida por plasma — OXFORD Instruments PlasmaPro 100 PECVD
• Inspeção por Raio-X — NIKON S-TEK XT V 160
• Microscópio óptico BX51M — Olympus BX51M
• Perfilômetro Óptico — KLA TENCOR MicroXAM-800 0346562-000
• Purificador de água ultrapura — Milli-Q Direct 16
• Sistema de Limpeza por Plasma — Nordson March AP-300
• Spin Coater — SAWATEC Spin Modle SM-150
• Sputter System — AJA INTERNATIONAL ATC ORION 8 SPUTTER SYSTEM

Dados extraídos do PNIPE/MCTI.