Nanofabricação (Salas limpas)
Instituição: Centro Nacional de Pesquisa em Energia e Materiais
Cidade/UF: SP/10000
O Laboratório de Nanofabricação (NanoFab) oferece uma infraestrutura multiusuário aberta do tipo salas limpas para pesquisa e desenvolvimento de nanodispositivos e nanosistemas funcionais para as mais diversas aplicações, como saúde, meio ambiente, e energia, criado para apoiar as comunidades científica e industrial no país. O laboratório conta com facilidades desde a fabricação de nanoestruturas até caracterização elétrica de materiais e dispositivos.
Áreas de atuação
- Eletroanalítica
- Materiais Dielétricos, Piezoelétricos, Ferroelétricos e Dispositivos
- Física da Matéria Condensada
- Ciência e Engenharia de Materiais
- Física do Estado Sólido
- Fisico-Quimica
- Eletrônica e Microeletrônica
- Sala limpa
Técnicas disponíveis
- Elipsometria
- Atomic Layer Deposition
- Microfabricação
- Impressão 3D
- Nanofabricação
- Medidas Elétricas
- Deposição de Filmes Finos e Ultrafinos
- Epitaxia Molecular
- Litografia eletrônica
- Etching
- Fotolitografia
- Ion Beam Milling
- Metrologia e Inspeção
Equipamentos
- Alinhadora de Máscaras — EV Group Europe & Asia/Pacific GMBH EVG-620
- Analisador de parâmetros — KEITHLEY 4200 SCS
- Estação de medidas elétricas 4 pontas para baixas temperaturas — Oxford Lakeshore
- Forno RTP para tratamento térmico — AllWin corp. AW 410
- Glovebox com atmosfera controlada de argônio — MBRAUN Labstar
- Litografia por feixe de elétrons — Raith Nanofabrication eLINE Plus
- Medida de efeito hall — Nano Magnetic Instruments ezHEMS
- Micro solda por ultrassom — TPT Wire Bonder HB 10
- Microscopia Confocal a Laser — Keyence VK-X200
- Perfilômetro de contato — Bruker Dektak XT-A
- Sistema de Corrosão por Íons Reativos — Oxford Instruments Plasma Technology NGP80
- Sistema de Deposição por Camadas Atômicas — Cambrige Nanotech Savanah
- Sistema de Deposição por Camadas Atômicas — Oxford Instruments Plasma Technology OpAL
- Sistema de Evaporação Térmica por Feixe de Elétrons (e-beam) — AJA International Inc. e-beam
- Sistema de ablação a laser — Ligerotech AutolazeQL
- Sistema de corrosão por feixe de íons de argônio — AJA International Inc. Orion Series
- Sistema de crescimento epitaxial – MBE III-V — Dr. Eberl MBE-Komponenten Customizado
- Sistema para tratamento por plasma — Diener Electronic GMBH + CO. KG Nano
- Sistemas para medidas de propriedades físicas em baixas temperaturas — Quantum Design PPMS Dynacool
Dados extraídos do PNIPE/MCTI.