Microfabricação

Instituição: Centro Nacional de Pesquisa em Energia e Materiais

Cidade/UF: SP/10000

O laboratório de Microfabricação atua como um laboratório multiusuário aberto a pesquisadores académicos e industriais. Dispõe de instalações e conhecimento para desenvolver processos em escala micrométrica. Possui larga experiência na fabricação de dispositivos baseado no conhecimento de processos tais como: litografia óptica e macia, filmes finos, eletroformação e impressão 3D. Tais técnicas permite fabricar protótipos para diferentes aplicações académicas e industriais.

Áreas de atuação

• Sensores quimicos, biomédicos, mecânicos
• Transdutores – sensores e atuadores eletromagnéticos.
• Microfluídica
• Microfabricação
• Desenvolvimento de dispositivos microfabricados para detectores
• Fabricação 3D de dispositivos

Técnicas disponíveis

• Impressão 3D
• Litografia óptica
• Potenciometria
• Microfluídica
• Microfabricação
• Deposição de filmes finos por feixe de elétrons
• Deposição de filmes finos por sputtering (PVD)
• medição de espessuras de filmes finos
• Corte de de wafers e substratos
• Deposição de filmes finos por spin-coating
• Deposição de Filmes Finos e Ultrafinos
• Eletrodeposição
• Soft litografia
• Escrita Direta a Laser

Equipamentos

• Centrifuga Rotina 380R — Hettich Rotina 380R
• Cromatógrafo a Gás — Thermo Scientific TRACE 1310
• Cromatógrafo a Gás com Espectroscopia de Massas — Thermo Scientific TRACE1300/ISQ7000
• Electron Beam Univex 300 — Leybold Univex 300
• Escrita Direta a Laser — Heidelberg UPG101
• Fotoalinhadora MJB3 — Karl Suss MJB3
• Impressoras 3D SLA — Formlabs Form2 e Form3
• Plasma de Oxigênio — CYKY 15L
• Potenciostato — Autolab PGSTAT128N
• Sistema de Evaporação — Angstrom Engineering EVOVAC 046
• Sputtering AJA Orion 8 — AJA Orion 8

Dados extraídos do PNIPE/MCTI.