Laboratório aberto de imageamento em micro-nanoeletrônica
Instituição: Centro de Tecnologia da Informação Renato Archer
Cidade/UF: SP/S/N
O LAimage ocupa cerca de 65 m² de instalações completamente renovadas, permitindo a análise e caracterização de nanomateriais e micro-nanodispositivos por técnicas de imagem, incluindo FEG-SEM, AFM, microscopia óptica, fluorescência de raios X e microtomografia.
Áreas de atuação
- nanotecnologia
- nanomateriais
- microeletrônica
- nanoeletrônica
Técnicas disponíveis
- Microscopia Eletrônica de Varredura de Alta e Extrema Resolução (FEG-SEM e XHR-SEM)
- Espectroscopia de Perda de Energia em Elétrons (EELS) e de raios-X dispersiva em energia (EDS)
- espectrometria fluorescência de raios X
- Microscopia de Força atômica - AFM
- Geração de micro e nano padrões
- Microscopia correlativa
- Nanocaracterização elétrica in situ e in-operando
- Processamento de imagem
Equipamentos
- Espectrômetro de Fluorescência de Raios-X (XRF) Fischer modelo XDV-SD — Fischer XDV-SD
- Microscópio de Força Atômica Nanosurf modelo EasyScan 2 — Nanosurf EasyScan 2
- Microscópio eletrônico de varredura com litografia por feixe de elétrons – FEG-SEM Tescan modelo Mira 3 XMU equipado com EDS 60 mm Bruker — FEG-SEM Tescan Mira 3 XMU
- Microscópio óptico com fluorescência Olympus modelo MX61 — Olympus MX61
- Sistemas de medidas elétricas por 4 pontas Jandell modelo 3000 com RM3000 Test Unit — Jandell 3000 com RM3000
Dados extraídos do PNIPE/MCTI.