Laboratório de Micro e Nanoeletrônica

Cidade/UF: SP/158

É um complexo de micro e nanoeletrônica do Departamento de Engenharia de Sistemas Eletrônicos da Escola Politécnica da USP. Pioneiro no desenvolvimento da Microeletrônica no Brasil, criado na década de 1960 por um grupo de professores do Departamento de Engenharia Elétrica da Escola Politécnica da USP com o objetivo de desenvolver trabalhos de pesquisa e desenvolvimento tecnológico nesta área.

Áreas de atuação

Células Solares
Processos de microfabricação
Novos Materiais e Materiais Nanoestruturados
Microssistemas, MEMS, MOEMS e Microestruturas 3D
Microfluídica e Sistemas Lab-on-Chip
Dispositivos Semicondutores (diodos, capacitores e transistores) de Si e materiais Poliméricos (OLED’s e OTFT’s )
Micro-ondas e Óptica Integrada
Circuito para RF e Ondas Milimétricas
Sensores e Biossensores
Novos dispositivos, fabricação, simulação e caracterização.
Projeto de circuitos integrados.

Técnicas disponíveis

Litografia óptica
Litografia por feixe de elétrons
Caracterização física de materiais e solos
Caracterização de parâmetros eletromagnéticos de materiais
Deposição de Filmes Finos e Ultrafinos
Processos de crescimento de filmes dielétricos e metálicos
Caracterização elétrica de dispositivos eletrônicos
Caracterização física de materiais e filmes finos

Equipamentos

Difratômetro de Raios-X — Panalytical Empyrean
Espectrômetro Raman — Witec Alpha 300-R
Foto Alinhadora de mascara — Suss Microtec MA6
MicroWriter ML3 Pro — MicroWriter ML3 Pro
Microscópio Eletrônico de Varredura por Emissão de Campo — Fei Company NovaNano 400
Microsolda de fios — West Bond 7476-D
Sistema de Spinner automático — Suss Microtec Delta 80
Sistema de deposição por Sputtering - RF — Kurt Lesker Customizado
Sistema de deposição quimica assistida por plasma — customizado customizado
Soldagem de laminas — Suss Microtec SB6L
corrosão por Plasma RIE — Plasma Technology RIE-80

Dados extraídos do PNIPE/MCTI.